SUPEC 2050半導(dǎo)體AMC綜合監(jiān)測(cè)系統(tǒng)由采樣預(yù)處理子系統(tǒng)、氣體監(jiān)測(cè)子系統(tǒng)以及輔助設(shè)備和數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)等構(gòu)成，如下圖所示。
采樣預(yù)處理子系統(tǒng)由多路樣氣傳輸管、采樣泵和分布式多通道采樣儀組成，可以對(duì)多個(gè)點(diǎn)位進(jìn)行不間斷實(shí)時(shí)采樣，并通過管路切換實(shí)現(xiàn)不同采樣點(diǎn)樣氣的循環(huán)監(jiān)測(cè)。
氣體監(jiān)測(cè)子系統(tǒng)由多個(gè)分析儀組成，可以根據(jù)不同的監(jiān)測(cè)需求進(jìn)行定制化的搭配，實(shí)現(xiàn)不同物質(zhì)的在線監(jiān)測(cè)。
輔助系統(tǒng)由集成機(jī)柜和校準(zhǔn)單元組成，可以保證整套系統(tǒng)的正常運(yùn)行，校準(zhǔn)單元可以定期對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，保證監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定和準(zhǔn)確。
數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)可以監(jiān)控查詢所有測(cè)量信息和系統(tǒng)工作狀態(tài)信息，并將監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)傳輸至企業(yè)的中控平臺(tái)。